摘要：欧姆龙在2011年6月29日～30日于太平洋横滨会展中心举办的“DesignMED Japan 2011（和MEDTEC Japan 2011同时举办）”上，展出了两款MEMS传感器。一款是MEMS流量传感器，已经投入量产。该传感器在医疗器械中，用于浓缩氧装置。